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单晶硅/多晶硅超纯水设备
    发布时间: 2017-06-28 10:03    

单晶硅多晶硅等材料使用的纯水为超纯水,一般要求电阻率≥18MΩ。执行国家电子级超纯水标准或美国半导体协会标准本公司可定制250L/H~1000T/H工业超纯水设备,详细情况请咨询客服。

单晶硅/多晶硅超纯水设备

一. 设备简介
      单晶硅、多晶硅在生产时需要用到超纯水,超纯水设备需要符合特定的用水水质标准,半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、中国电子工业电子级水质技术标准(18MΩ.cm15MΩ.cm10MΩ.cm2MΩ.cm0.5MΩ.cm)、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。 大环保在满足用户用水标准的基础上,在设备系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。



二. 设计标准及依据

1. 根据用户提供的详细水质报告“量身定制”。

2. 水处理设备技术条件《JB/T 2932-1999

3. 反渗透水处理设备标准《CJ/T119-2000

4. 低压开关设备和控制设备成套装置《IEC439-1 

5. 实验室超纯水技术指标标准GB6682-2008 

6. 国家电子级超纯水规格《GB/T11446.1-1997



三. 工艺流程

1 原水-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-**级反渗透-PH调节-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-EDI系统-超纯水箱-纯水泵-抛光装置-终端超滤-用水点



四. 设计特点


1. 系统采用全自动控制(同时亦可采用手动控制),系统运行时可设定自动反洗、再生程序;

2. 各单元接线均在工厂内统一完成,减少安装调试时间;

3. 一级反渗透和二级反渗透设有回流管道,反渗透设备设有化学清洗装置;

4. 管道一般采用UPVC材质;

5. 集成控制系统和集成仪表系统等,方便操作管理;

6. RO定时清洗 具有开机和定时清洗RO膜功能,延长RO膜使用寿命;

7. 水回收率 通过特殊的工艺设计,大幅提高了设备的回收率,*高可达70%

8. 设备具有耗材更换自动提示功能,并且耗材的更换周期取决于水质和压力的变化,而非根据耗材的使用时间,考虑到了各地水质的差异,设计更科学;

9. 自我保护功能 源水缺水自动停机保护功能同时具有水箱缺水自动产水、满水自动停机功能。





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